Sistemul OTL-PECVD-1200PECVD constă din cuptor cu tuburi de vid OTL1200, cameră de vid de cuarț, alimentare cu frecvență radio, sistem de alimentare cu gaz GX, sistem de pompare, sistem de măsurare a vidului.

Principalele caracteristici:

1, prin intermediul unei surse de energie de frecvență radio pentru a transforma gazele din camera de vid de cuarț în stare ionică.

PECVD are o temperatură mai scăzută decât CVD-ul obișnuit pentru depozitarea gazelor chimice.

3, dimensiunea de stres a filmului depozitat poate fi controlată prin frecvența sursei de putere RF.

PECVD are o rată mai mare de depozitare a gazelor chimice decât CVD obișnuit, o uniformitate bună, o consistență și o stabilitate ridicate.

5, utilizat pe scară largă în: creșterea diferitelor filme subțiri, cum ar fi: SiOx, SiNx, SiOxNy și siliciu amorofob (a-Si: H) etc.

Sistemul OTL-PECVD-1200 PECVD utilizează fila Kanthal rezistentă suedeză ca element de încălzire, utilizând structură de carcasă dublă și 30 de instrumente de control al temperaturii, declanșare de fază, control al siliciului, cuptorul utilizează materiale de polifibra de oxid de aluminiu, ambele capături ale tubului de cuptor pot fi etanșate cu flanța din oțel inoxidabil, flanța din oțel inoxidabil este instalată cu gură de aer, supape și manometru, vid poate ajunge la 10-3 Pa atunci când pompează vid, cu echilibrul câmpului de temperatură, temperatura de suprafață scăzută, rata rapidă a temperaturii de ridicare și scădere, economii de energie, prețuri reduse și alte avantaje.

(3), echilibru de rezistență, echilibru de câmp de temperatură bun

(4) Elemente de încălzire: Kanthal A1 din Suedia, fir de rezistență importat (fir de rezistență poate promite garanție de 2 ani)

Deschiderea golă se deconectează automat atunci când circuitul este supracurent sau scurgere

Cuptorul este echipat cu interfață de comunicare și software, poate controla direct diferitii parametri ai cuptorului prin calculator și poate observa de la calculator valorile de temperatură PV și SV și funcționarea instrumentului pe cuptor, calculatorul curbei de încălzire reale a cuptorului va fi desenat în timp real și poate salva datele de temperatură din fiecare moment, oricând poate regla nivelul de vid.

(2) Utilizarea tehnologiei japoneze.

(3) Spațiul și distanța firului de rezistență din cuptor sunt toate dispuse în conformitate cu cea mai bună tehnologie termică din Japonia, prin simularea câmpului termic prin software

(4), utilizarea încălzirii de 4 săptămâni, câmpul de temperatură mai echilibrat

(Toate produsele electrice importate sunt certificate UL)