Micromediul de flux de masă a gazelor XR-F001 este conceput special pentru măsurarea și controlul procesului a diferitelor tipuri de gaze cu fluxuri mici. Toate aceste serii de senzori sunt fabricate cu cipuri avansate de senzori de flux pentru sisteme microelectromecanice (MEMS) și sunt adaptate pentru diverse tipuri de gaze curate. Tehnologia unică de ambalare îl face disponibil pentru toate tipurile de diametre de țeavă, costuri scăzute, instalare ușoară, fără compensare a temperaturii și presiunii și poate înlocui mediul de debit convențional cu volum sau presiune diferențială.